目錄序前言第1章 緒論 11.1 微傳感器 21.2 微傳感器的接口集成電路 3參考文獻 4第2章 微傳感器 52.1 熱對流式MEMS加速度計 52.1.1 基本工作原理 52.1.2 國內外研究現狀 62.2 MEMS慣性傳感器 92.2.1 電容式加速度計 92.2.2 微機械陀螺儀 112.3 電容式MEMS麥克風 132.3.1 基本工作原理 132.3.2 國內外研究現狀 132.4 壓電式微機械超聲換能器 152.4.1 基本工作原理 152.4.2 國內外研究現狀 16參考文獻 17第3章 微傳感器的讀出電路 193.1 熱對流式MEMS加速度計讀出電路 193.2 MEMS慣性傳感器讀出電路 223.3 電容式MEMS麥克風讀出電路 243.4 壓電式微機械超聲換能器讀出電路 27參考文獻 31第4章 信號調理電路 334.1 放大電路 334.1.1 儀用運算放大器 344.1.2 噪聲源 364.1.3 低噪聲放大器設計 374.1.4 降低失調和低頻噪聲的技術 404.2 濾波電路 454.2.1 濾波器的頻率特性和函數逼近 454.2.2 連續時間濾波器 484.2.3 開關電容濾波器 514.3 模數轉換電路 554.3.1 模數轉換電路基本原理 554.3.2 模數轉換電路主要性能指標 564.3.3 常用的模數轉換器類型 604.3.4 逐次逼近型模數轉換電路典型結構 644.3.5 低功耗逐次逼近型模數轉換器 67參考文獻 73第5章 自供能技術及其電路設計 755.1 自供能技術 765.1.1 能量采集技術 765.1.2 無線能量傳輸技術 805.2 整流電路 835.2.1 簡單整流電路 845.2.2 極低輸入電壓整流電路 875.3 穩壓電路 925.3.1 模擬線性穩壓電路 925.3.2 數字線性穩壓電路 995.3.3 開關穩壓電路 995.3.4 開關穩壓電路和線性穩壓電路的級聯 103參考文獻 104第6章 微傳感器封裝 1066.1 SoC和SiP 1066.2 三維封裝技術 1126.2.1 晶圓減薄技術 1126.2.2 硅通孔技術 1156.2.3 微凸點鍵合技術 1176.3 MEMS封裝 1186.3.1 MEMS封裝的特殊性 1186.3.2 晶圓級MEMS封裝 119參考文獻 122