第1章 緒論1.1 微慣性器件發(fā)展歷史及技術(shù)現(xiàn)狀1.2 微慣性器件應(yīng)用及發(fā)展方向1.3 微慣性傳感器主要廠商及其特點(diǎn)參考文獻(xiàn)第2章 振動(dòng)式硅微機(jī)械陀螺2.1 振動(dòng)式硅微機(jī)械陀螺的基本理論及模型2.1.1 振動(dòng)式硅微機(jī)械陀螺的基本原理2.1.2 振動(dòng)式硅微機(jī)械陀螺的典型結(jié)構(gòu)2.1.3 振動(dòng)式硅微機(jī)械陀螺動(dòng)力學(xué)方程2.1.4 線振動(dòng)微機(jī)械陀螺的動(dòng)態(tài)輸出特性2.1.5 小結(jié)2.2 敏感結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)2.2.1 材料特性2.2.2 總體設(shè)計(jì)2.2.3 關(guān)鍵結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)2.3 信號(hào)檢測(cè)、處理和運(yùn)動(dòng)控制2.3.1 微小電容檢測(cè)技術(shù)2.3.2 信號(hào)處理與提取2.3.3 陀螺運(yùn)動(dòng)控制2.4 測(cè)試技術(shù)2.4.1 振動(dòng)式硅微機(jī)械陀螺主要指標(biāo)2.4.2 測(cè)試方法2.4.3 數(shù)據(jù)處理參考文獻(xiàn)第3章 硅微機(jī)械加速度計(jì)3.1 硅微撓性加速度計(jì)3.1.1 梳齒式電容加速度計(jì)3.1.2 “蹺蹺板”擺式電容加速度計(jì)3.1.3 “三明治”擺式電容加速度計(jì)3.2 硅微諧振式加速度計(jì)3.2.1 工作原理3.2.2 結(jié)構(gòu)特點(diǎn)3.2.3 系統(tǒng)組成3.3 硅微靜電懸浮式加速度計(jì)3.3.1 工作原理3.3.2 結(jié)構(gòu)特點(diǎn)3.3.3 系統(tǒng)組成參考文獻(xiàn)第4章 微型氣流式陀螺4.1 工作原理及模型4.1.1 對(duì)流換熱原理4.1.2 熱敏元件的檢測(cè)方法4.1.3 系統(tǒng)信號(hào)檢測(cè)電路4.2 微型熱對(duì)流陀螺4.2.1 器件結(jié)構(gòu)和工作原理4.2.2 系統(tǒng)建模及數(shù)值模擬4.2.3 陀螺加工工藝4.2.4 交叉耦合效應(yīng)及補(bǔ)償技術(shù)4.3 微型射流陀螺4.3.1 器件結(jié)構(gòu)和工作原理4.3.2 數(shù)值模擬分析方法4.3.3 陀螺加工工藝4.4 總結(jié)參考文獻(xiàn)第5章 MEMS熱對(duì)流加速度傳感器5.1 熱對(duì)流加速度傳感器工作原理5.2 計(jì)算機(jī)仿真與分析5.2.1 線性度分析5.2.2 靈敏度分析5.3 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和制作工藝5.4 三軸微型熱對(duì)流加速度傳感器5.4.1 三軸熱對(duì)流加速度傳感器工作機(jī)理5.4.2 三軸熱對(duì)流加速度傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)5.4.3 三維流體場(chǎng)的計(jì)算機(jī)仿真5.4.4 三軸微型熱對(duì)流加速度傳感器三維立體加工5.4.5 三軸微型熱對(duì)流加速度傳感器的封裝5.5 檢測(cè)電路5.5.1 加熱器溫度控制電路的模型和控制電路5.5.2 加速度信號(hào)檢測(cè)電路參考文獻(xiàn)第6章 微慣性系統(tǒng)技術(shù)6.1 微慣性測(cè)量單元（MIMu）的基本概念和組成6.1.1 MIMU的發(fā)展現(xiàn)狀6.1.2 MIMU的組成6.2 MIMU的基本種類和工作原理6.2.1 微機(jī)械航姿參考系統(tǒng)6.2.2 微型慣性導(dǎo)航系統(tǒng)6.2.3 微慣性衛(wèi)星組合導(dǎo)航系統(tǒng)6.2.4 無(wú)陀螺捷聯(lián)導(dǎo)航系統(tǒng)6.2.5 多傳感器融合系統(tǒng)6.2.6 多軸單片集成系統(tǒng)6.3 MIMU的應(yīng)用和發(fā)展6.3.1 武器裝備6.3.2 航空航天6.3.3 車輛6.3.4 船舶6.3.5 石油勘探6.3.6 機(jī)器人6.3.7 醫(yī)療健康6.3.8 消費(fèi)電子參考文獻(xiàn)