第1章 污染控制基礎知識
1.1 引言
1.1.1 污染源
1.1.2 污染物黏附力
1.1.3 污染控制方法
1.2 污染控制術語
1.3 空氣中和表面上的特定污染
1.4 污染來源
1.5 污染控制要求
1.5.1 空氣顆粒物
1.5.2 化學蒸氣污染控制限值
1.5.3 離子污染控制限值
1.5.4 磁性污染控制限值
1.5.5 表面污染率和空氣電離
1.5.6 直接接觸污染和原位污染
1.5.7 氣流要求
1.5.8 壓力要求和外殼排氣要求
1.5.9 維護要求
1.5.10 其他要求
1.5.11 本節小結
1.6 相關標準
參考文獻
其他讀物
第2章 ESD控制基礎
2.1 引言和歷史回顧
2.2 靜電荷控制術語
2.3 靜電源
2.3.1 靜電
2.3.2 靜電充放電的影響
2.3.3 高科技靜電放電敏感器件的故障模式
2.4 靜電放電控制的要求
2.4.1 確定靜電放電損害敏感度
2.4.2 電爆裝置的靜電放電建模
2.5 建立防靜電工作場所
2.5.1 材料表面電阻率
2.5.2 接地
2.5.3 識別和訪問防靜電工作區
2.5.4 防靜電地板覆蓋物
2.5.5 工作表面和桌墊
2.5.6 腕帶接地點
2.5.7 空氣電離系統
2.5.8 相對濕度
2.5.9 椅子和凳子
2.5.10 垃圾箱
2.5.11 陰極射線管顯示器
2.5.12 場電位限值
2.5.13 工具和夾具
2.5.14 輸送機
2.6 人員靜電放電控制
2.6.1 手腕帶和螺旋線
2.6.2 培訓和認證計劃
2.6.3 潔凈室工作服和防靜電服
2.6.4 鞋束
2.6.5 手套、內襯和指套
2.7 耗材和附件
2.7.1 包裝
2.7.2 干燥劑
2.7.3 手提箱、垃圾箱等運輸容器
2.7.4 筆記本和活頁夾
……
第3章 樣品采集與分析
第4章 污染和防靜電工作區設計
第5章 如何獲得清潔的零部件：零部件清洗作業
第6章 工具設計和認證
第7章 連續監測
第8章 耗材和包裝材料
第9章 人為污染控制與靜電控制
第10章 更衣室布局
第11章 程序和文件