**章 微制造基礎1.1 引言1.2 微成形(微尺度變形加工)1.2.1 微成形加工中的尺寸效應1.2.2 微尺度變形數值仿真1.3 分立零件微制造的機械微加工1.3.1 機械微加工中的尺寸效應參考文獻 第二章 半導體工業中的微制造工藝2.1 引言2.2 半導體襯底2.2.1 硅2.2.2 硅片制造2.2.3 硅的氧化2.2.4 碳化硅(SiC)與砷化鎵(GaAs)2.3 化學氣相沉積(CVD)2.3.1 CVD的類型2.3.2 CVD生長的優缺點2.4 光刻技術2.5 物理氣相沉積(PVD)2.6 干法刻蝕技術2.7 濕法體材料微加工2.8 總結參考文獻 第三章 微尺度建模與分析3.1 引言3.2 微尺度下連續介質模型局限性3.3 修正的連續介質模型3.4 分子動力學模擬及其局限性3.5 微尺度模擬方法實例及其相互比較3.5.1 均勻摩擦下多晶體各向異性有限元法3.5.2 利用**性原理計算電子態獲得原子間勢對摩擦界面進行分子動力學模擬3.5.3 晶體塑性有限元與分子動力學結合(注射—鐓粗)3.6 總結、結論以及待研究的問題參考文獻 第四章 微尺度測量、檢測與加工控制4.1 引言4.2 空間檢測4.2.1 光學方法4.3 數字全息成像顯微系統4.3.1 掃描式電子顯微鏡4.4 微坐標測量機——μCMM4.5 掃描式探針顯微鏡4.5.1 微計算機X射線照相術4.5.2 掃描聲學顯微鏡4.5.3 微機械部件的測溫4.6 機械特性的測量4.6.1 拉曼光譜法4.6.2 彎曲測試4.6.3 拉伸測試4.6.4 界面特性參考文獻 第五章 分層微制造5.1 引言5.1.1 歷史5.1.2 加工步驟5.1.3 分層制造的優勢5.2 分層制造工藝5.2.1 分類5.2.2 工藝細節5.3 材料和分層制造加工能力5.3.1 材料5.3.2 分層制造加工能力5.4 分層制造技術的應用5.4.1 快速成型5.4.2 快速模具5.4.3 快速／直接制造5.5 發展趨勢參考文獻 第六章 激光微加工6.1 引言6.2 激光輻射、吸收和熱效應6.3 激光加工材料6.3.1 激光加工金屬和合金6.3.2 激光加工處理聚合物和復合材料6.3.3 激光加工處理玻璃和硅6.3.4 激光加工陶瓷與硅6.4 激光加工工藝參數6.4.1 激光光斑尺寸和光束質量6.4.2 峰值功率6.4.3 脈沖持續時間6.4.4 脈沖重復率6.5 超短脈沖激光燒蝕6.5.1 雙溫傳熱6.5.2 表面的電子發射和庫侖爆炸6.5.3 電子發射形成早期等離子體6.5.4 流體動力學膨脹6.6 納秒脈沖激光燒蝕6.6.1 燒蝕機理6.6.2 雙脈沖激光燒蝕6.6.3 納秒激光誘導等離子體6.7 激光沖擊強化6.7.1 激光沖擊強化加工6.7.2 激光沖擊強化物理學6.7.3 LSP對材料機械特性的影響6.7.4 LSP的優勢、劣勢和應用參考文獻 第七章 聚合物微成型／成形工藝7.1 引言7.2 微模具成型用聚合物材料7.3 微模具成型工藝分類7.4 微模具成型加工普遍動力學7.5 微注射模具成型7.5.1 微注射成型設備7.5.2 注射模具快速熱循環7.5.3 微注射模具成型工藝策略7.6 熱模壓7.6.1 高效熱循環7.6.2 恒溫模壓成型7.6.3 貫穿厚度壓印7.6.4 殼體圖案模壓7.6.5 模壓成形壓力實現7.7 微模具制造7.8 結論與正在進行的研究參考文獻 第八章 機械微制造8.1 引言8.2 微尺度下材料去除8.2.1 尺寸效應8.2.2 極限切削厚度8.2.3 微結構和晶粒尺寸影響8.3 刀具幾何、磨損與變形8.3.1 微型刀具幾何形狀與涂層8.3.2 微切削刀具磨損機理8.3.3 動態載荷下刀具剛度和變形8.4 微車削8.4.1 作為刀具材料的金剛石8.4.2 金剛石微切削8.5 微端銑8.5.1 微型銑刀8.5.2 微銑削力學8.5.3 微銑削數值分析8.5.4 微銑削動態特性8.5.5 微端銑工藝規劃8.6 微鉆削8.7 微磨削8.8 微機床參考文獻 第九章 微成形9.1 引言9.2 微鍛造9.3 微壓印／模壓9.4 微擠壓9.5 微彎曲9.6 微沖壓成形9.7 微拉深成形9.8 微液壓成形9.9 微成形應用設備和系統9.10 總結與未來工作參考文獻 第十章 微細電火花加工(μ-EDM)10.1 引言10.2 微細電火花加工工藝10.2.1 微細電火花加工的物理原理10.2.2 脈沖發生器／電源10.2.3 微細電火花加工的變型10.3 微細電火花加工工藝的參數控制10.3.1 電參數10.3.2 材料的性能參數10.3.3 機械運動控制參數10.4 微細電火花加工性能測試10.4.1 材料去除率10.4.2 工具電極損耗率10.4.3 表面質量10.4.4 電火花間隙／切縫寬度、間隙寬度10.4.5 微細電火花加工小型化的公差和限制10.5 微細電火花加工工藝應用與實例10.5.1 在線電極制備10.5.2 利用微細電火花加工刀具10.5.3 制造用于鉆孔的微型鉆頭(孔的尺寸與鉆頭相同)10.5.4 重復的模式轉移批量處理10.5.5 成型加工微型腔和微型結構10.5.6 微細電火花銑削制造三維微特征和微模具10.5.7 微細電火花銑削精細特征10.5.8 大深徑比微孔和噴嘴制造10.5.9 微細電火花加工的其他創新應用10.6 微細電火花加工*近的發展和研究10.6.1 LIGA和微細電火花加工10.6.2 微細電火花加工和微磨削10.6.3 微細電火花加工和微細電解加工10.6.4 微細電火花加工和微超聲波加工10.6.5 振動輔助微細電火花加工10.6.6 混粉微細電火花加工10.6.7 微細電化學放電加工10.7 總結參考文獻 第十一章 微尺度金屬粉末注射成型技術11.1 金屬注射成型技術介紹11.2 微金屬注射成型技術11.3 原料準備11.3.1 粉末11.3.2 黏結劑11.3.3 原材料的混煉11.4 注射成型11.4.1 微金屬粉末注射成型技術的設備及工藝參數11.4.2 微金屬粉末注射成型技術的模具鑲塊11.4.3 微金屬粉末注射成型技術的變模溫11.5 脫脂11.6 燒結11.6.1 微結構的燒結11.6.2 微齒輪的燒結11.7 結束語參考文獻 主題詞索引